曾有研究--，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，从而形成-盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。 所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的hf和sif，经常会用-、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的-转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。
每一种实验室废气治理技术均有其适用对象和技术短板，没有哪一种技术可以处理所有废气污染物，故在进行废气工艺设计时更多的是考虑对现有的废气治理技术进行组合，扬长避短。 针对实验室废气大风量低浓度、同时含有无机物和有机物、间歇性排放等特点，采用“碱液吸收法+活性炭吸附”组合式工艺进行治理。碱液可吸收、-等无机污染物，利用活性炭的大量微孔结构对有机物进行物理吸附，从而使得实验室废气得以净化。
活性炭吸脱附与催化焚烧组合工艺
活性炭吸附与催化焚烧，两者除了可以单独运用外，也可以组合运用。组合运用首要使用两者之间具有互补性的特点：活性炭吸附适用于大风量、低浓度废气，催化焚烧适用于小风量、高浓度废气，且活性炭在高温下被吸附的有机物可以脱附出来。从另一个角度看，此组合工艺可视为活性炭的现场再生使用工艺，既减少了活性炭吸附饱满后的更换处置成本，一起定时的浓缩脱附也避免了因活性炭吸附饱满未及时更换形成的超支排放危险。
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